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本書介紹了微光機電系統(tǒng)(Micro-Optical—Electro—Mechanical System．MOEMS)的國內外發(fā)展狀況，微器件的結構設計與仿真，常用的微制造技術，如表面工藝、體硅工藝和LIGA工藝，封裝技術等。本書的重點是介紹各種MOEMS器件，包括微力學器件、RF微器件、微光學器件、微流體器件以及微溫度傳感器和微磁場傳感器等。介紹微器件時，本書從各器件的工作原理、工藝步驟、性能指標等人手，意在使讀者更好地了解目前已經(jīng)研制成功的各種微器件及微系統(tǒng)，并能在實際的工程中考慮選用。
本書可作為從事MOEMS技術應用和開發(fā)的工程設計人員、科技
管理人員以及相關專業(yè)研究生的參考書。